SF6气体作为绝缘和灭弧介质封闭在SF6电力设备中，由于制造质量和安装工艺、密封元件的老化等原因，SF6设备的泄漏是难以避免的，水分的渗入现象也是存在的。气体泄漏和水分渗入是影响SF6设备能否长期安全运行的关键，应予以高度关注。
(1)SF6电力设备当需要补气时，应对SF6新气体按新气质量标准验收，新SF6气体的纯度不应小于99.8%，充入设备后的纯度不应小于97%。四氟化碳、空气、水分、纯度、酸度等八项技术指标应符合国家标准。充气前，所有管路必须冲洗干净，充气后使气压稍高于要求值。水分含量的检测，应由专业人员使用专用仪器进行，并防止在现场检测时水分乘机渗入。
(2)人员进入气室工作时，应事先对气室进行充分换气。在气室含氧量达到18%以上时方可入室工作。
(3)SF6电力设备复装时，密封槽面应清洁，无划伤痕迹，应选用由氯丁橡胶等优质材料特殊配方生产的密封圈；已用过的密封(垫)圈，不得再使用；涂密封脂时，不得使其流入密封(垫)圈内侧而与SF6气体接触。
(4)SF6电力设备检修时，一是作业人员应严格按工作票上所指定的工作地点和在指定的设备上作业；二是检修工艺规范化。即作业人员的职责、执行规章制度的严格程度、技术标准和工艺标准等加以具体的规定和量化，使之有章可循，有据可依。
SF6电力设备新产品新技术正在不断出现和迅速发展，该设备具有小型化、复合化和智能化，高科技含量高。检修运行人员必须掌握SF6电力设备的基础理论知识，熟练掌握有关技术规程、工艺标准和操作程序，使SF6电力设备发挥更好的作用。
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